怎么建造一个百级芯片无尘车间厂房

文章出处：弘炜净化人气：发表时间：2020-11-19 14:56

芯片制造属于光电半导体行业，有专门的芯片无尘车间厂房，其生产车间需要达到百级无尘车间。

制造芯片到底有多难？
制作一颗芯片的生产线是非常复杂的，大约会涉及到五十个行业、2000-5000个工序；就拿代工厂来说，需要先将“砂子”提纯成硅，再切成晶元，然后加工晶元；晶元加工厂包含前后两道工艺，前道工艺分几大模块——光刻、薄膜、刻蚀、清洗、注入；后道工艺主要是封装——互联、打线、密封；光刻是制造和设计的纽带；其中许多工艺都在独立的工厂进行，而使用的设备也需要专门的设备厂制造；使用的材料包括几百种特种气体、液体、靶材，都需要专门的化工工业；另外，集成电路的生产都是在超净无尘车间进行的，因此还需要排风和空气净化等系统。

芯片无尘车间

芯片厂对于生产环境的空气洁净度非常挑剔，就算是一粒小小的粉尘，粘在芯片上也可能造成短路，进而直接影响成品率；粉尘的危害尚且如此，空气中的化学污染就更不用说了；因此，芯片生产一般是在无尘室中进行，并且生产芯片的无尘车间洁净度必须达到百级。

洁净度百级无尘车间的标准：
大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的尘粒数为0；
微生物最大允许数：浮游菌每立方米不能超过5个；
温度：22℃±2；
湿度：55%±5；
基本需要满布FFU，做高架地板；
做MAU+FFU+DC系统，还有保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右；
百级无尘车间若非得用换气次数来衡量的话200次/h以上；
百级无尘车间若是以层流风速来说的话>0.35 m/s；
百级无尘车间若以HEPA高效空气过滤器对吊顶覆盖率的话>50%。